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奕帆半導體芯片制造車間專用氪氣檢測儀廠家銀色固定式氪氣檢測儀,專為半導體晶圓、芯片封裝車間打造 24 小時不間斷氪氣在線監測設備,整機通體銀色壓鑄鋁合金防爆外殼,表面抗靜電噴涂工藝,適配無塵車間、高純載氣輸送管路監測場景,防爆 Ex d IIC T6、IP66 防塵防水防護,可長期穩定運行于恒溫恒濕潔凈車間,不受潔凈車間循環風、微量化學溶劑蒸汽干擾,監測數據穩定無漂移。
設備搭載定制化氪氣紅外傳感模組,針對半導體行業高純氪氣微量泄漏監測優化算法,可精準識別管道焊縫、閥門接頭、腔體密封處 ppm 級氪氣逸散,測量線性誤差≤±2% FS,杜絕微量惰性氣體泄漏污染晶圓生產環境,避免高價值芯片批量報廢,同時規避密閉潔凈車間氪氣積聚造成作業人員缺氧窒息安全事故。
設備內置工業智能 MCU 處理器,支持實時數據本地存儲、云端同步,RS485 標準 Modbus 通訊協議可無縫對接工廠 PLC、DCS 中控系統、環保在線監管云平臺,手機、電腦端可隨時隨地查看車間各點位氪氣實時濃度、歷史趨勢曲線、超標報警記錄,所有監測數據自動保存,滿足環保在線長期數據留存、環保核查溯源需求。
機身正面高清背光液晶屏,車間強光、暗光環境下數值清晰可讀,配套一體化銀色聲光報警裝置,三級報警閾值可根據半導體車間安全規范自定義調節,一旦氪氣濃度超標,立刻高分貝蜂鳴 + 紅色爆閃燈光雙重警示,設備內置兩路無源繼電器輸出,可聯動車間潔凈區排風系統、載氣輸送管道緊急切斷閥門,實現泄漏風險自動化防控。整機采用模塊化分體結構,傳感器、氣室、主控電路獨立模組化,無塵車間維護無需拆機布線,單人快速完成傳感器更換、設備校準,原廠配套紅外無線遙控器,設備安裝后無需打開防爆外殼,遠程一鍵完成零點校準、量程標定,大幅降低半導體車間設備運維對無塵潔凈環境的破壞風險。
設備支持壁掛式垂直安裝、管道抱箍側向安裝兩種部署方案,銀色極簡工業外觀,適配半導體車間潔凈設備整體視覺風格,全套防爆安裝支架、密封接頭、標定工具隨貨配套,整機提供 365 天超長質保,原廠工程師調試指導,符合環保在線精密制造行業氣體監測設備入駐標準,是半導體工廠潔凈車間氪氣安全監測、環保在線數據上報的在線檢測設備。
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