











深圳奕帆科技固定式紅色款氖氣檢測(cè)儀,專為半導(dǎo)體晶圓潔凈廠房稀有氣體泄漏監(jiān)測(cè)打造,整機(jī)采用醒目紅色防爆殼體,車間復(fù)雜工況下辨識(shí)度拉滿,是光刻車間氖氣供氣管道、鋼瓶存放區(qū)安全監(jiān)測(cè)設(shè)備。氖氣屬于惰性稀有氣體,傳統(tǒng)氣體傳感器難以精準(zhǔn)捕捉微量泄漏,本設(shè)備搭載進(jìn)口 VUV 真空紫外光電離專用氖氣傳感器,檢出限低至 0.1ppm,SEMI S2 半導(dǎo)體行業(yè)稀有氣體監(jiān)測(cè)標(biāo)準(zhǔn),全量程檢測(cè)誤差≤±1% FS,搭配自研溫濕度自動(dòng)補(bǔ)償算法,潔凈車間恒溫恒濕環(huán)境下長(zhǎng)期運(yùn)行數(shù)據(jù)零漂移。
設(shè)備外殼為鑄鋁防爆材質(zhì),紅色氟碳防腐涂層,IP66 防塵防水防護(hù)等級(jí),防爆認(rèn)證 ExdⅡCT6,可直接部署于防爆潔凈區(qū)域,不會(huì)干擾車間無塵環(huán)境。機(jī)身搭載 2.5 英寸高清液晶顯示屏,實(shí)時(shí)數(shù)字顯示現(xiàn)場(chǎng)氖氣濃度,支持 PPM、% VOL 多單位自由切換;機(jī)身側(cè)邊集成一體式紅色聲光報(bào)警燈,與紅色機(jī)身融為一體,濃度超標(biāo)瞬間發(fā)出 85dB 高分貝蜂鳴 + 高頻紅光爆閃,遠(yuǎn)距離即可察覺泄漏風(fēng)險(xiǎn),雙重預(yù)警杜絕安全事故。
安裝方式支持壁掛式、管道法蘭式兩種,適配潔凈車間吊頂管道、鋼瓶柜體安裝,模塊化傳感器熱插拔設(shè)計(jì),更換傳感器無需整機(jī)斷電停機(jī),30 秒快速完成替換,不耽誤半導(dǎo)體車間 24 小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)作業(yè)。信號(hào)輸出包含標(biāo)準(zhǔn) 4-20mA 三線制模擬信號(hào) + RS485 Modbus 數(shù)字信號(hào),可無縫對(duì)接車間 DCS 工控系統(tǒng)、PLC 控制柜,實(shí)現(xiàn)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)遠(yuǎn)程上傳;額外搭載兩路無源繼電器開關(guān)量輸出,超標(biāo)時(shí)可自動(dòng)聯(lián)動(dòng)車間排風(fēng)機(jī)、氣體切斷閥,實(shí)現(xiàn)泄漏自動(dòng)處置。
整機(jī)適配 - 20℃~60℃寬溫工作環(huán)境,0-95% RH 無凝露濕度工況,內(nèi)置故障自檢程序,傳感器失效、線路斷路、供電異常均會(huì)主動(dòng)故障報(bào)警,同時(shí)記錄設(shè)備運(yùn)行日志、超標(biāo)報(bào)警記錄,存儲(chǔ)上萬條歷史數(shù)據(jù),支持本地查詢與云端導(dǎo)出。奕帆半導(dǎo)體潔凈車間氖氣探測(cè)器廠家,整機(jī)提供 3 年整機(jī)質(zhì)保,傳感器 1 年免費(fèi)換新,可根據(jù)半導(dǎo)體車間需求定制專屬量程、物聯(lián)網(wǎng)無線傳輸模塊,全國(guó)上門安裝調(diào)試指導(dǎo),適配各大晶圓廠、芯片封裝廠、光刻車間常態(tài)化氖氣安全監(jiān)測(cè)需求。
奕帆半導(dǎo)體潔凈車間氖氣探測(cè)器廠家