深圳奕帆科技一體式銀色固定式氫氣檢測(cè)儀，專(zhuān)為半導(dǎo)體、光伏晶圓制造行業(yè)打造，芯片生產(chǎn) CVD 沉積爐、擴(kuò)散爐、氫氣載氣管道、高純氣柜均會(huì)使用大量氫氣作為還原保護(hù)氣體，管道焊縫、閥門(mén)、接頭微量泄漏存在車(chē)間爆炸、產(chǎn)品報(bào)廢雙重風(fēng)險(xiǎn)，本款銀色防爆監(jiān)測(cè)設(shè)備可全天候精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)高純氫氣泄漏，機(jī)身銀色啞光金屬外殼適配潔凈車(chē)間無(wú)塵裝修，無(wú)掉屑、無(wú)銹蝕污染晶圓生產(chǎn)環(huán)境，通過(guò)潔凈車(chē)間設(shè)備防塵防腐標(biāo)準(zhǔn)。

儀器搭載高精度進(jìn)口氫氣專(zhuān)用傳感元件，抗氮?dú)狻鍤狻⒐柰榈裙に嚉怏w交叉干擾，半導(dǎo)體車(chē)間混合工藝氣體環(huán)境下無(wú)誤報(bào)；分微量 0-1000ppm 低量程、0-100% LEL 可燃量程兩種規(guī)格，晶圓車(chē)間微量高純氫氣泄漏選用 ppm 量程，儲(chǔ)罐、管道大泄漏監(jiān)測(cè)選用 LEL 量程，分辨率最高 0.1ppm，可捕捉毫升級(jí)微小泄漏，提前預(yù)警避免氫氣滲入潔凈室污染晶圓。整機(jī)電路采用無(wú)磁屏蔽設(shè)計(jì)，不會(huì)干擾半導(dǎo)體車(chē)間精密電子設(shè)備、檢測(cè)儀器正常工作，潔凈車(chē)間嚴(yán)苛電磁環(huán)境穩(wěn)定運(yùn)行。

機(jī)身全密封銀色防爆結(jié)構(gòu)，無(wú)外露縫隙積塵，日常無(wú)塵布擦拭即可完成清潔，滿足半導(dǎo)體潔凈車(chē)間運(yùn)維標(biāo)準(zhǔn)；IP66 防塵防水，抵御車(chē)間清洗噴淋水汽、工藝微量腐蝕霧氣，-20℃~50℃恒溫區(qū)間適配潔凈車(chē)間常年控溫工況。正面液晶屏幕支持中英文雙語(yǔ)切換，外資半導(dǎo)體工廠、國(guó)產(chǎn)晶圓廠區(qū)均可適配；紅外遙控器遠(yuǎn)程調(diào)試，潔凈車(chē)間無(wú)需頻繁拆卸儀器破壞無(wú)塵環(huán)境，降低車(chē)間潔凈度維護(hù)成本。

通訊接口支持 RS485 有線遠(yuǎn)傳，可對(duì)接半導(dǎo)體工廠 MES 生產(chǎn)系統(tǒng)、環(huán)保在線廢氣監(jiān)測(cè)平臺(tái)，氫氣泄漏數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)上傳管控后臺(tái)，超標(biāo)自動(dòng)聯(lián)鎖氫氣供氣管道切斷閥、潔凈室排風(fēng)系統(tǒng)，同步推送報(bào)警記錄至中控值班室，第一時(shí)間處置泄漏隱患；模塊化傳感器設(shè)計(jì)，更換耗材無(wú)需整機(jī)拆卸，潔凈車(chē)間停機(jī)維護(hù)時(shí)長(zhǎng)大幅縮短。適配光伏電池片燒結(jié)車(chē)間、半導(dǎo)體芯片制造廠房、高純氫氣供氣站、電子實(shí)驗(yàn)室。

奕帆固定式半導(dǎo)體晶圓制造氫氣檢測(cè)儀廠家可根據(jù)潔凈車(chē)間無(wú)塵等級(jí)定制無(wú)油污、無(wú)碎屑專(zhuān)用機(jī)型，提供整套車(chē)間多點(diǎn)氫氣監(jiān)測(cè)布局方案，原廠兩年質(zhì)保，定期上門(mén)標(biāo)定校準(zhǔn)服務(wù)。

奕帆固定式半導(dǎo)體晶圓制造氫氣檢測(cè)儀廠家